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Rubis晶圓鑷子的操作規程描述

Rubis晶圓鑷子的操作規程:

    1. 進入實驗室后,應先戴上手套后,再取鑷子,以免沾污。

    2. 唯有使用干凈的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭污染,必須拿去清洗,方可再使用。

    3. 鑷子使用后,應放于各站規定處,不可任意放置,如有特殊制程用鑷子,使用后應自行保管,不可和實驗室內各站之鑷子混合使用。

    4. 持鑷子應采"握筆式"姿勢挾取芯片。

    5. 挾取芯片時,順序應由后向前挾取,放回芯片時,則由前向后放回,以免刮傷芯片表面。

    6. 挾取芯片時,"短邊" (鋸狀頭)置于芯片正面,"長邊" (平頭)置于芯片背面,挾芯片空白部分,不可傷及芯片。

    7. 嚴禁將鑷子接觸酸槽或D.I WATER水槽中。

    8. 鑷子僅可做為挾取芯片用,不準做其它用途。

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